Caractéristiques à rapport d'aspect élevé
Mesure sans contact de caractéristiques de surface à rapport d'aspect élevé
NOVACAMTM Systèmes de métrologie 3D caractériser de manière fiable les surfaces présentant des caractéristiques à rapport d'aspect élevé, telles que les marches, les rainures, les canaux et les tranchées.
Les systèmes offrent :
- Balayage collinéen sans contactLes signaux lumineux émis et reçus suivent une trajectoire identique. Aucune triangulation n'est nécessaire
- Acquisition de surface à grande vitesse : 2 100 à 100 000 points 3D par seconde
- Résolution submicronique
- Sensibilité accrue que les capteurs de triangulation et les systèmes confocaux couleur
Le balayage colinéaire permet une meilleure couverture de mesure des caractéristiques à rapport d'aspect élevé que celle offerte par les technologies de triangulation.
Fuel cell bipolar plate with high-aspect-ratio channels
Avantages de l'utilisation d'un système modulaire et à base de fibres optiques
Les systèmes de métrologie 3D de NOVACAM sont modulaires et basés sur la fibre, ce qui signifie que les sondes optiques de balayage sont connectées à l'interféromètre du système par une fibre optique qui peut être longue de plusieurs mètres. Grâce à la combinaison unique de Technologie d'interférométrie à faible cohérence et conception à base de fibresCes systèmes offrent des avantages significatifs à nos clients. Ces avantages sont les suivants
- Polyvalence de la configuration pour l'inspection en cours de fabrication et sur banc d'essai
- Soutien à l'automatisation
- Capacité à acquérir des profils longs
- Capacité à mesurer l'intérieur de tubes de petit diamètre, d'alésages, etc. Voir l'inspection dans les espaces difficiles d'accès
- Capacité à mesurer des surfaces comportant des marches, des rainures, des canaux, des trous et autres. caractéristiques à rapport d'aspect élevé
- Capacité à scanner des surfaces réfléchissantes ou non réfléchissantes, lisses ou rugueuses, fixes ou mobiles.
- Capacité à mesurer la GD&T même à des températures extrêmes ou sous l'effet des radiations. Voir aussi l'inspection en milieu hostile.
Voir une liste plus complète des avantages de nos systèmes LCI à base de fibres.
Les sondes optiques à fibre NOVACAM sont disponibles dans de nombreux designs et modèles - standard, petit diamètre, rotatif ou galvo-scanner - pour répondre aux besoins des applications d'inspection de haute précision.
Exemple dans le secteur des semi-conducteurs
ApplicationMesure de l'épaisseur : mesure des tampons CMP (chemical mechanical polishing), utilisés pour le polissage des plaquettes de silicium. Les tampons CMP sont des consommables constitués d'un matériau polymère poreux et dotés de canaux à rapport d'aspect élevé. La position, la largeur et la profondeur des rainures (canaux) affectent de manière critique les performances du processus CMP.
Les systèmes de métrologie 3D de NOVACAM sont utilisés pour mesurer la géométrie des rainures des tampons CMP pendant leur fabrication, où le processus de mesure est intégré directement dans la station d'usinage des tampons CMP. Les systèmes de métrologie 3D NOVACAM sont utilisés pour mesurer la géométrie des rainures des tampons CMP pendant leur fabrication, où le processus de mesure est intégré directement dans la station d'usinage des tampons CMP. Une fois déployés dans le processus CMP, les tampons peuvent également être mesurés avec les mêmes systèmes pour mesurer l'état des tampons CMP et déterminer le moment optimal du conditionnement des tampons.
Systèmes de métrologie : Système de PROFILOMÈTRE 3D OPTIQUE (pour le balayage linéaire) ou Système SURFACEINSPECT (pour un balayage efficace de la zone)
Plus de détails: Métrologie 3D des tampons CMP page de candidature
CMP pad : Mesure 3D sans contact de rainures étroites à rapport d'aspect élevé
Exemple dans le secteur aérospatial
Application: Fentes de joints aveugles usinées par électro-érosion sur des pales de stator de turbine de moteur à réaction. Les fentes mesurent ~30 mm de long, 0,4 mm de large et ~1,8 mm de profondeur.
Système de métrologie : Système SURFACEINSPECT
Plus de détails: Métrologie 3D pour l'électroérosion et l'usinage laser page de candidature
Inspection de la fente EDM. Cette image de nuage de points à faible densité montre les 10 profils (~400 mesures chacun) acquis sur une longueur de 10 mm de la fente.
Inspection de la fente EDM. Cette image de nuage de points à haute densité montre les 1 000 profils (~400 mesures chacun) acquis sur une longueur de 10 mm de la fente.
Exemple dans le secteur de l'usinage des métaux / de l'entretien des outils
Application : mesure du rayon des arêtes
Système de mesure : Système EDGEINSPECT
Plus d'informations : Page d'application de la mesure du rayon des bords
Vidéo: “Mesure du rayon des bords” (00:01:53)
Image de la hauteur de l'arête du foret
Image d'intensité de l'arête du trépan
Mesures et analyse des mèches. Carte de déviation de la netteté des arêtes avec code couleur. Les utilisateurs peuvent choisir de visualiser les mesures des rayons des arêtes à différents points de l'analyse.
Autres secteurs
Les systèmes NOVACAM mesurent des surfaces avec des caractéristiques à haut rapport d'aspect dans de nombreuses industries de haute précision :
- Aérospatiale : les blisks (rotors à aubes intégrées ou IBR), des turbines, trous de refroidissement
- Automobile : buses d'injecteurs de carburant
- Dentaire : inspection de la restauration dentaire
- Électronique
- Production de piles à combustible et de piles solaires : bipolar plates
- Dispositifs médicaux : arêtes d'outils, implants orthopédiques avec filets ou caractéristiques internes
- Micro-usinage : arêtes, trous, rainures de joints toriques
- Production d'outils : la fabrication d'outils de coupe et le contrôle de la qualité
Liens connexes
Voir les applications connexes :
Contactez nous ou demander une analyse d'échantillon gratuite pour savoir si les systèmes de métrologie 3D NOVACAM conviennent à votre application
